合景净化工程公司解释到 ， FFU循环系统的特点是整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成 ， 由FFU提供循环空气的动力 ， 将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层 ， 静压层相对于工艺层为负压 。此外 ， 还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域 ， 包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等 。
集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求 。合景净化工程公司说：“不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同 ， 例如光刻要求在1级的微环境下 ， 而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可 。另外 ， 集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求 ， 尤其是振动的控制 ， 在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求” 。
好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入 ， 而且可以给生产提供安全可靠的保证 。在3种洁净系统中 ， FFU循环系统运行成本最低 ， 洁净度安全性最高 ， 因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统 。而洁净度要求越高 ， 温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高 ， 因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下 ， 将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势 。
集成电路制造是高能耗的产业 ， 而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上 ， 因此节能安全的洁净室设计和各种热能回收设计将是未来的发展方向 。主流大厂已经进入了纳米时代 ， 集成电路制造洁净厂房的设计建造和节能创新也需要不断提升 ， 为先进制程产品生产提供保障 ， 这就是合景净化工程公司在光学电子行业洁净车间EPC深耕20余年的专业和专注 。与时俱进 ， 创造每一个项目的“奇迹” 。
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