2020年 , 受新冠肺炎疫情影响 , 美国国防部认识到国防产业供应链的脆弱 , 开始制定一项“微电子回流战略” , 旨在通过公私合作等方式 , 将微电子制造、组装和测试产业从亚洲转移至美国 , 以解除对微电子产品供应链安全的担忧 。
2020年5月 , 美国白宫与英特尔、台积电进行谈判 , 成功说服这两家公司在美国本土新建芯片制造厂 。
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今年9月 , 美国商务部召开半导体高峰会 , 以提高芯片“供应链透明度”为由 , 要求台积电、三星等半导体企业在45天内交出被视为商业机密的库存量、订单、销售纪录等数据 。
2021年2月 , 美国总统拜登签署一项行政命令 , 要求美国政府对半导体芯片、电动汽车大容量电池、稀土矿产和药品四种关键产品的供应链进行为期100天的审查 。
2021年4月 , 美国拜登政府公布了一项2万亿美元的基础设施投资计划 , 涉及芯片供应链的投资规模达到500亿美元 。
2021年4月 , 美国白宫召开线上峰会以商讨如何应对芯片短缺的困境 , 与会者包括三星、英特尔、台积电和谷歌等公司 。 拜登称 , 加强美国半导体产业和供应链韧性是美国两党的共识 , 已有23名参议员和42名众议员来信支持美国的《为芯片生产创造有益的激励措施法案》(CHIPS) , 以应对中国等其他国家的快速发展 , 消除美国在研发和制造方面的局限性 。
芯片短缺的现状虽与美国供应链对亚洲的依赖并不直接相关 , 却掀起了一轮有关芯片制造回流美国的广泛讨论 , 并赢得美国国会内部对于深度投资美国本土半导体制造环节的有力支持 。
2020年4月 , 日本政府召开经济增长战略会议 , 针对全球半导体供应不足问题 , 讨论国内投资支持措施 , 以确保国内稳定供应 。 日本拥有全球最多的半导体工厂 , 但生产的一大半都是用途广泛的产品 , 没有附加价值高的尖端半导体制造能力 。 政府对逾六成国内半导体需求依赖进口的现状表示担忧 。
日本官房长官加藤胜信表示 , “将促进研发和投资 , 力图构筑切实的供应体制” 。 4月 , 美日两国首脑召开会议 , 确认建立分散型供应链的重要性 , 讨论了构建生产基地不偏重于地缘政治风险高的中国台湾和与美国对立加深的中国大陆等特定地区的体制 。
首台国产28纳米工艺浸没式光刻机有望交付
国际半导体产业协会(SEMI)公布的数据显示 , 2020年全球半导体生产设备的销售达到了712亿美元 , 较2019年的598亿美元增加114亿美元 , 同比增长19% 。 中国大陆市场的设备销售额比上年增长39% , 达到187.2亿美元 。 由5G的普及和新冠肺炎疫情导致的居家办公需求 , 半导体代工企业的投资旺盛 。
我国在光刻机方面的技术积累和人才储备相对不足 , 虽无法制造高端光刻机 , 但可以制造一些低、中端的光刻机 。
2008年起 , 我国开始重视光刻机的研发 。 为推动我国集成电路制造产业的发展 , 国家决定实施科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目(又称“02专项”) 。 在该项目下 , 我国研究团队一路攻坚克难 , 国产首套90纳米高端光刻机已经研制成功 。
2019年4月 , 武汉光电国家研究中心甘棕松团队通过2束激光 , 在自研的光刻胶上 , 突破光束衍射极限的限制 , 并使用远场光学的办法 , 光刻出最小9纳米线宽的线段 。 该成果一举实现光刻机材料、软件和零部件的三大国产化 。
2020年6月 , 上海微电子设备有限公司透露将在2021—2022年交付首台国产28纳米工艺浸没式光刻机 。 这意味着国产光刻机工艺从以前的90纳米一举突破到28纳米 。
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