北京商报讯（采访人员 杨月涵 实习采访人员 孟悦）当地时间1月19日 ， 光刻机巨头阿斯麦（ASML）官网显示 ， 英特尔订购了一款最先进的芯片制造机（光刻机） 。 这款光刻机目前仍处于设计阶段 ， 预计数年后才会交付 。
阿斯麦称 ， 现已收到5台下一代光刻机的订单 ， 这5台机器被称为“High NA”EUV ， 将采用不同的镜头系统 ， 数值孔径（NA）更大 ， 每台成本约为3亿美元 。 第一批原型将于2023年发货 ， 预计要到2025年才能用于批量生产 。
此前 ， 阿斯麦发言人曾透露 ， 更高的光刻分辨率将允许芯片缩小1.7倍、同时密度增加2.9倍 。 未来比3nm更先进的工艺 ， 将极度依赖高NA EUV光刻机 。
阿斯麦最先进的商用机器被称为“EUV光刻系统” ， 使用“极紫外光”（EUV）光波来绘制计算机芯片的电路的 ， 其大小相当于一辆公交车 ， 每台成本约为1.5亿美元 。 一家先进芯片工厂通常需要9~18台这样的设备 。 因此 ， 光刻机是芯片制造商最大的资本开支之一 。
当前 ， 阿斯麦是此类机器的唯一制造商 ， 其EUV客户包括全球最大的芯片制造商 ， 如台积电、三星和英特尔等 。
【斥资3.4亿美元 英特尔抢订ASML最先进光刻机】“英特尔的重点是保持在半导体光刻技术的前沿 ， 在过去一年里 ， 我们一直在建设我们的EUV专业知识和能力 。 ”英特尔执行副总裁和技术开发总经理Ann Kelleher说 。