光学电子是研究电子在电磁场中运动和电子束在电磁场中聚焦、成像、偏转等规律的学科 , 目前比较常见的有半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造等行业 。
科技发展日新月异 , 对光学电子产品的高精度化和细小化都有了更高的要求 。 而这些需求 , 都需要在安全科学的无尘室内完成 , 所以对光学电子无尘车间技术也有了更高的要求 。
在对光学无尘室设计前 , 应加强对光学微电子行业的认识 , 了解其基础知识和特点 , 并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度 。 再根据该工程的具体情况 , 同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力 , 综合各种因素来确定采用何种净化方案 , 这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案 。
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光学无尘室净化工程一般包括:1、洁净生产区 , 2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等) , 3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等) , 4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房) 。
净化原理:气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程 , 即可达到净化目的 。
净化参数
【光学无尘车间电子净化车间工程技术方案 合景净化工程】换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次 。 压差:主车间对相邻房间≥5Pa;平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃ 。 湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电 。 噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX 。
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温湿度要求:1.温度一般为24+2℃ , 相对湿度为55+5% 。
2.新风量大 。 按照目前生产特点 , 光学无尘室内人员都比较多 , 可以根据以下数值应取下列的最大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量 , 保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h 。 送风量大 。 为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡 , 需要较大的送风量 , 就平方米的车间 , 吊顶高度为2.5米的 , 如果是万级 , 送风量就需要300*2.5*30m3/h的送风量(换气次数 , 是≥25次/h);如果是十万级 , 送风量就需要300*2.5*20=15000m3/h的送风量 。
净化空调系统方案
1.组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
2.水冷柜机+增压风柜+高效送风口
3.分体空调柜机+FFU送风口
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上述三套方案各有各的特点 , 都有各自的优缺点 , 通俗点来说一到三可以说是从高到低的排列 。 分析对于常规电子厂房洁净室空调的设计 , 应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案 , 以满足生产工艺的要求作为前提 。 根据以往经验 , 对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案对于要求不高的 , 又要初投资低的 , 可以选用柜机 。 总之 , 具体的方案选择根据具体情况而定 。
以上所述 , 皆为理想状态下的基础配置 。 任何一项光学无尘室净化工程 , 都不可避免有特殊情况 , 需要在设计是施工时具体分析 。 所以 , 要了解更详尽光学无尘室知识 , 可以搜索“合景净化”联系专业工程师答疑解惑 。
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