由于每种工艺制程设备的发热量大不相同 ， 导致洁净室内的机台发热量分布不均匀 。 例如炉管机台的发热量相较于其他设备大得多（基本在3－5倍之间） ， 因此必须在洁净室内用干盘管DCC 带走这些热量 。 通常要求同一制程的气流经过同一组DCC ， 在建筑已经确定的情况下 ， 制程的分布要与回风道垂直 。 如果条件允许 ， 最好是将不同制程的区域隔开 ， 这样既可避免金属粒子污染 ， 又能提高温湿度控制的稳定性 。
通常情况下 ，洁净室的温湿度控制在22+/-0.5℃ ， 45%+/-3%RH ， MAU 的送风温度基本控制在21℃-21.5℃ ， 在与循环风混合后 ， FFU 出风口的温度控制在22℃ ， 这样 ， 经过工作层面后温度将会再上升 ， 在机台满载的情况下上升温度会基本稳定 。
2.2 温湿度控制中的常见问题
在MAU 的温湿度处理过程中 ， 为了解决除湿问题 ， 通常采用湿度优先的方法 ， 冷水阀主要用来除湿 ， 同时也造成温度的下降 ， 然后通过热水阀的再热 ， 使温湿度均能达到所要求的值 。 这样的做法虽然可以满足设计要求 ， 但在相当多的时候 ， 冷热水阀使能量相互抵消 ， 造成了能源的浪费 。 另外 ， 如果进入洁净室的新风温度过高 ， 将导致整个洁净室的热负荷加大 ， DCC 开度增大以抵消新风带来的热负荷；如果进入洁净室的新风的温度过低 ， 将使得在DCC 开度为零时都无法达到环境温度的要求 。 根据统计数据 ， 空调系统的能耗占整个半导体厂的能耗的30%－35% ，因此对空调设备进行优化控制 ， 选择合理温湿度设定值 ， 对提高整个洁净室温湿度控制的稳定性及节能具有重要的意义 。
3 温湿度控制系统实现
基本上 ，现在洁净室温湿度要求为22+/-0.5℃ ， 45%+/-3%RH ， 当然根据生产工艺的需求 ， 对温湿度的要求也不尽相同 。
3.1 新风空调箱的温湿度控制
3.1.1 新风空调箱基本结构
新风空调箱基本结构如图3 所示 ， 其处理流程如下：空气过滤———包括初效、中效、高效三部分；温度处理———包括预热盘管、一次表冷盘管、再热盘管三部分； 湿度处理———包括一次表冷盘管、二次表冷盘管、蒸汽加湿三部分 。

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3.1.2 温度处理过程
预热盘管的作用是对外气进行预加热 。 在外界气温较低 ， 接近零度时 ， 为了避免盘管在气温低于零度时被冻坏 ， 需对外气进行加热 ， 通常是加热到12℃ 。
控制送风温度时 ， 将送风温度与其设定值进行比较 ， 通过PID 控制算法 ， 得出一个计算值 ， 根据该计算值来确定一次表冷盘管与再热盘管阀门开度的大小 ， 其控制流程如图4 所示 。

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在整个PID 闭环控制环节中引入分程控制器模型 ， 如图5 所示 ， 将PID 控制算法得出的计算值分为两部分 ， 0-48％及52（％）-100％ ， 它们分别对应一次表冷盘管及再热盘管 ， 这样就避免了冷热水盘管同时打开而导致能源浪费 。 同时 ， 在冷热水切换的交界处48％-52％ ， 设置了死区 ， 即当外气的温度与送风温度设定值相当接近时 ， 热水阀和冷水阀都处于关闭（阀开度都为0）的状态 ， 以避免冷热水在临界状态时不停地切换 ，加速了执行机构的损坏 ， 同时又能减少能源的消耗 。

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3.1.3 湿度处理过程