为模糊控制规则实质上是将操作员的控制经验加以总结而得出一条条模糊条件语句 。 在本次实际设计中 ， 共采用了49 条“if－then”规则 ， 根据这些规则 ， 得出如表1 所示的模糊控制规则表：

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模糊推理将模糊规则库中的模糊“if-then”规则转换成某种映射 ， 即将输入空间上的模糊集合映射到输出空间上的模糊集合 。 根据这些规则进行模糊推理得到一个模糊集, 即模糊控制量U, 再通过去模糊化环节,将其转化为清晰的数字控制量,达到调节MAU 温度设定的目的 。
3.2.2 洁净室相对湿度控制
洁净室相对湿度的控制则由MAU 出口新风湿度进行调节 ， 将洁净室相对湿度测量值与相对湿度设定值进行比较 ， 由此计算出所需要MAU出口新风相对湿度 ， 其计算过程与温度设定值的计算过程类似 ，然后配合MAU 出口新风温度设定值 ， 计算出MAU 的出口露点温度设定值 ，由此来控制MAU 出口的湿度 。
4 结论
实际应用中 ， 通过在洁净室温湿度控制系统中引入模糊控制环节和分程控制环节 ， 发挥模糊控制鲁棒性强、动态响应好、上升时间快、超调小的特点, 大大提高了整个控制系统的动态响应特性 ， 同时又具有PID 控制器的动态跟踪品质和稳态精
度 ，半导体洁净室的环境温湿度得到了更好的控制 ， 波动更小 ， 同时也减少了能源的浪费 。