为了避免和温度之间的耦合关系 ， 新风出口湿度的设定值通常不采用相对湿度作为控制值 ， 而是通过和温度设定值综合计算后得出其绝对湿度 ， 以露点温度或含湿量来表示 。 本文以露点温度为例 。 将计算所得的露点温度设定值作为整个MAU 出
口湿度的设定值 。 根据送风露点温度并与露点温度设定值进行比较 ， 通过PID 控制算法 ， 得出一个计算值 ， 根据该计算值来确定表冷阀和加湿阀开度的大小 ， 其控制流程与温度控制类似 ， 同时也引入了分程控制 ， 避免临界状态下加湿与除湿之间不断切换而导致的湿度控制的波动 。
【半导体洁净室温湿度控制方案】3.2 洁净室温湿度控制
3.2.1 洁净室温度控制
洁净室内的温度PID 控制流程如图6 所示 ， 采用的是基本的PID 控制 ，由于洁净室本身的大空间而造成的大惯性、大时滞性 ， 在设置PID 参数时通常将积分时间设置为零 ， 以防止系统过调节而产生振荡 。

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洁净室温度主要由DCC 来调节 ，但同时受新风送风温湿度的影响 ， 如果给定太高的温度 ， 进入洁净室和循环风混合后 ， DCC 就需要更大量的冷量进行冷却 ， 这就直接导致能源的浪费；如果给定太低的温度 ，进入洁净室和循环风混合后 ，即使DCC 的开度为零 ， 整个洁净室的温度却仍然太低 ， 这将使得整个洁净室的温度超标 。
3.2.2 新风空调箱温湿度设定值控制
新风空调箱送风温度设定值的选取是比较关键的 ， 它必须能够最佳适应当前洁净室内温度的需求 。 如果给定太高的温度 ， 进入洁净室和循环风混合后 ， DCC 就需要更大量的冷量进行冷却 ， 这就直接导致能源的浪费；如果给定太低的温度 ， 进入洁净室和循环风混合后 ， 即使DCC 的开度为零 ， 整个洁净室的温度却仍然太低 ， 这将使得整个洁净室的温度超标 。 因此 ， 对于MAU 新风送风温度设定值的选取是十分重要的 ， 必须在确保系统在控制范围内并尽可能达到节能的目的 。 在此 ， 我们引入模糊控制的思想 ， 通过对洁净室温度偏差及偏差变化率的模糊规则变换 ， 得出新风空调箱送风温度设定值SP 。 整个程序运行的流程如图7 所示,程序运行后 ， 将获得新的SP 。

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基本的模糊控制系统如图8 所示 。 系统中的模糊控制器是两输入一输出的,其输入量是系统的偏差E 和偏差变化率EC, 而这两个量具有确定的数值, 是两个清晰量 。 整个模糊控制器由四个部分组成：模糊化 ， 模糊规则库 ， 模糊推理及去模糊化 。 模糊化的作用是将一个确定的点映射为输入空间的一个模糊集合 。 通过模糊化处理,得到模糊的偏差量E 以及模糊的偏差变化率EC 。 其中模糊的偏差量E 语言值集合有七种取值 ， 分别是NB(负大)、NM(负中)、NS( 负小)、O(零)、PS(正小)、PM(正中)、PB(正大) 。 模糊的偏差变化率EC 的语言值集合也有七种取值,分别是NB (负大)、NM (负中)、NS(负小)、O(零)、PS(正小)、PM(正中)、PB (正大) 。

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模糊规则库是由若干个模糊“if-then”规则的总和组成 ， 它是模糊系统的核心部分 ， 系统其他部分的功能在于解释和利用这些模糊规则来解决具体问题 。 在模糊规则控制器中编辑模糊控制规则,不同的模糊控制器一般有不同的模糊控制规则,因